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12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管

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基本信息
详细说明 规格： ► 晶圆尺寸 : 200mm, 300mm ► 一个腔体 -> 晶圆数量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片 ► 工作温度范围 : 150℃ ~400℃ ► 5 Axis WTR 设备：尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500 晶圆：尺寸：12” ，数量：12” -> 50 配置：装/卸量：12” -> 2盒 WTR（移动范围）：X, Y, θ, Z Axis (沿X轴移动，绕Y轴移动并旋转。）机械手臂：可选项1个手臂2个手工艺空间：加热腔滤网：高效过滤器升降机器人：晶舟升/降晶圆缓存区：侧面缓存电离期：硅芯盒装工艺参数：工艺温度：150~400℃(±4℃) 温度均匀度：±3℃ 氧含量：≤20 PPM *技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

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