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Pfeiffer普发HiPace 300pius涡轮分子泵进气法兰口DN100ISO-K，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到260 L/s, 转速为60000rpm,对应的控制器为： Pfeiffer TC400, 金华杰精修Pfeiffer普发全系列分子泵。
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